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Ansys 流體解析應用

使用表面反應功能的CVD(氣相沉積)分析案例

  

使用 Ansys Fluent 的 CVD(Chemical Vapor Deposition:化學氣相沉積)的案例。在此案例中,考慮到了氣相化學形態、沉積化學形態、固體化學形態之間的詳細反應。
為了高效計算詳細的化學反應速率方程,Ansys Fluent 備有特殊求解器(剛性求解器),還可以連結專門處理化學反應的軟體 CHEMKIN-CFD。
 



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使用表面反應功能的CVD(氣相沉積)分析案例.pdf

使用表面反應功能的CVD(氣相沉積)分析案例
2021-02-22 17:02:00
2021-02-22 17:02:00
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