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【技術文章】半導體製程中的關鍵探針測試分析


摘要
 
半導體製程中，特別是集成電路（IC）測試過程，探針測試分析擔任關鍵角色。探針測試，是在晶圓級別檢測缺陷的關鍵步驟，該機制涉及將晶圓推動以直接與探針接觸，強調了關鍵的設計考慮因素，如接觸力、探針材料和排列方式。探針卡在 IC 開發中發揮關鍵作用，解決方案包括傾斜概念的可行性、接觸力的量化和參數分析的見解有助於加速客戶的研發過程。透過設計優化解決方案，以進一步提高探針卡的性能。

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半導體製程中的關鍵探針測試分析.pdf

2023-09-07 11:56:00
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